芯明天壓電物鏡定位器?
P72系列壓電物鏡定位器是專門為物鏡聚焦顯微而設計的，采用無回差柔性鉸鏈并聯導向機構設計，物鏡補償量較小，具有超高聚焦 穩定性，物鏡定位器裝入顯微檢測/測量或者觀測裝置可以帶動物鏡頭聚焦提高精度，可與多種高分辨率的顯微鏡配合使用。
芯明天壓電物鏡定位器特性;
• 大行程110μm
• 大承載0.2kg
• 毫秒級響應時間
• 閉環重復定位精度高
• 開環/閉環可選
典型應用
• 三維成像 • 干涉/計量
• 表面結構分析 • 共焦顯微
• 生物科技 • 半導體測試
體積小巧、易于集成、高動態、直線性好
壓電物鏡定位器體積小巧、結構緊湊，可實現 大行程110μm的位移。多種螺紋牙連接器可選，易于與其 他光學顯微鏡等集成。臺體采用柔性鉸鏈機構，無摩擦且具有*的分辨率。由于其空載諧振頻率可達350Hz，且可帶載200g負載 作高速精密運動，在光學掃描、共焦顯微等領域得到廣泛 的應用。可選擇閉環版本，實現超高的定位精度。
螺紋適配器便于安裝
P72物鏡定位器與物鏡之間通過適配器連接，將物鏡快速鎖定在 預期位置 。 多種螺紋 牙 可 選 ， 如M27× 0. 75、 M 26× 0. 75、 M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等，也可定制，便于與顯 微鏡集成安裝。
P72壓電物鏡定位器技術參數：
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型號 | 尾綴S-閉環 尾綴K-開環 | P72.Z100S P72.Z100K |
單位 |
| 運動自由度 | Z |
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| 標稱行程范圍（0~120V） | 80 | μm±20% | |
| 大行程范圍（-20~150V) | 110 | μm±20% | |
| 傳感器類型 | SGS/- |
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| 閉/開環分辨率 | 5/2.5 | nm | |
| 閉環線性度 | 0.1/- | %F.S. | |
| 閉環重復定位精度 | 0.05/- | %F.S. | |
| 推/拉力 | 110/15 | N | |
| 運動方向剛度 | 1.4 | N/μm±20% | |
| 空載諧振頻率 | 350 | Hz±20% | |
| 閉/開環空載階躍時間 | 10/3 | ms±20% | |
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閉環空載工作頻率 | 10%行程 | 50 |
Hz±20% |
| 行程 | 15 | ||
| 大承載 | 0.2 | kg | |
| 靜電容量 | 3.6 | μF±20% | |
| 材質 | 鋼 |
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| 重量 | 150 | g±5% | |
以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。
