四方光電（武漢）儀器有限公司為四方光電股份有限公司（代碼688665）的全資子公司，成立于2010年，前身為湖北銳意自控系統有限公司，簡稱：四方儀器，是一家專業提供氣體成分及流量測量方案的高新技術企業，服務于環境監測、過程氣體監測、智慧計量等領域。
基于四方光電核心氣體傳感技術平臺的優勢，湖北銳意開發了系列非分光紅外（NDIR）、紫外差分吸收光譜（UV-DOAS）、激光拉曼（LRD）、超聲波（Ultrasonic）、熱導（TCD）、光散射探測（LSD）等技術原理的氣體成分流量儀器儀表，產品廣泛應用于環境監測、冶金、煤化工、生物質能源等各個行業，在節能減排中發揮重要作用。
四方儀器自主研發生產的便攜式紅外沼氣分析儀、微流紅外煙氣分析儀、紅外煤氣分析儀曾相繼獲得國家重點新產品證書，紅外煤氣分析儀獲得中國儀器儀表學會優秀產品獎榮譽，其核心技術獲得湖北省發明金獎。四方光電“微流紅外煙氣傳感器研究及產業化”獲得工信部2019年工業強基工程重點“產品、工藝”應用計劃示范項目，公司獲得應用計劃示范企業。
四方儀器憑借長期的技術沉淀、嚴格的質量體系及國際化視野，產品已出口多個國家和地區，正在朝著氣體分析儀器儀表增值應用領域的國際品牌邁進。
產品名稱：紅外氣體傳感器
產品型號：Gasboard-2060
紅外氣體傳感器產品概述
紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發的高性能氣體傳感器，產品基于非分光紅外技術(NDIR),能夠精確測量半導體等應用中產生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內常見預留尺寸、法蘭和通訊協議，可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節約成本,提高產量。
紅外氣體傳感器產品特性
（1）使用NDIR技術，多氣體監測支持(SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)
（2）響應時間快，高靈敏度
（3）無耗材
（4）模擬/數字通信
（5）模塊化設計，便于集成
紅外氣體傳感器技術參數
| 檢測原理 | NDIR |
| 檢測氣體 | SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2 |
| 量程 | 1~264ppm(0~200mTorr) |
| 重復性 | ±0.5% |
| 線性 | ±1%F.S. |
| 檢測限 | 1ppm |
應用領域
半導體行業薄膜沉積工藝CVD設備的EPD氣體檢測
| 產品名稱 | 參考價 | 地區 | 公司名稱 | 更新時間 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 制冷劑（R290）泄露監測氣體傳感器 | 面議 | 武漢市 | 四方光電股份有限公司 | 2025-07-11 | 在線詢價 |
| 硫酸霧氣體傳感器模組 | 面議 | 深圳市 | 深圳市東日瀛能科技有限公司 | 2025-03-10 | 在線詢價 |
| 在線式氬氣分析儀 氬氣檢測儀 ar分析儀 進口微流式熱導氣體傳感器 24h技術支持培訓諾科儀器NK-210B | ￥12800 | 西安諾科儀器有限責任公司 | 2025-10-15 | 在線詢價 | |
| 智易時代ZWIN-AQMS08微型空氣站傳感器 氣體傳感器 | 面議 | 天津市 | 天津智易時代科技發展有限公司 | 2025-11-03 | 在線詢價 |
| 室內粉塵變送/控制器,氣體傳感器 | ￥600 | 杭州市 | 浙江力夫傳感技術有限公司 | 2025-06-02 | 在線詢價 |
| 英國TROLEX氣體傳感器 | 面議 | 上海市 | 上海邦之言實業有限公司 | 2024-02-23 | 在線詢價 |
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