《光學(xué)和光子學(xué)微透鏡陣列第4部分：幾何特性測(cè)試方法》征求意見

　　【儀表網(wǎng) 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)】近日，由中國兵器工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化研究所 、中科院重慶綠色智能技術(shù)研究院 、中科院大連化學(xué)物理研究所 、電子科技大學(xué)等單位編制，TC103(全國光學(xué)和光子學(xué)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì))歸口的國家標(biāo)準(zhǔn)計(jì)劃《光學(xué)和光子學(xué) 微透鏡陣列 第4部分：幾何特性測(cè)試方法》征求意見稿已編制完成，現(xiàn)公開征求意見。
 

　　微透鏡陣列是陣列光學(xué)器件中一類重要的光學(xué)元件，以單個(gè)透鏡、兩個(gè)或多個(gè)透鏡陣列的形式，廣泛應(yīng)用于三維顯示、與陣列光輻射源和光探測(cè)器相關(guān)的耦合光學(xué)、增強(qiáng)液晶顯示和光并行處理器元件。隨著科技不斷進(jìn)步，有必要制定一套技術(shù)內(nèi)容與國際接軌的國家標(biāo)準(zhǔn)，這樣既有利于推動(dòng)我國微透鏡陣列行業(yè)規(guī)范有序發(fā)展，又能更好地促進(jìn)相關(guān)貿(mào)易、交流和技術(shù)合作。GB/T 41869《光學(xué)和光子學(xué) 微透鏡陣列》就是在此背景下起草制定的，微透鏡陣列標(biāo)準(zhǔn)擬由以下幾個(gè)部分組成。
 

　　——第1部分：術(shù)語。目的在于通過定義微透鏡及其陣列的基本術(shù)語，促進(jìn)微透鏡陣列產(chǎn)品的應(yīng)用，有助于科研工作和行業(yè)從業(yè)者在共同理解的基礎(chǔ)上交流。
 

　　——第2部分：波前像差的測(cè)試方法。目的在于通過規(guī)范波前像差的測(cè)試方法，明確微透鏡的基本特性。
 

　　——第3部分：光學(xué)特性測(cè)試方法。目的在于通過確定光學(xué)特性重要指標(biāo)的測(cè)試方法，為供貨方產(chǎn)品交付提供依據(jù)。
 

　　——第4部分：幾何特性測(cè)試方法。目的在于通過確定幾何特性重要指標(biāo)的測(cè)試方法，為供貨方產(chǎn)品交付提供依據(jù)。
 

　　微透鏡陣列系列標(biāo)準(zhǔn)是對(duì)微透鏡術(shù)語、波前像差、光學(xué)特性和幾何特性測(cè)試方法的規(guī)范。本文件主要規(guī)定了微透鏡陣列幾何特性的測(cè)試方法，是在波前像差、光學(xué)特性之外，從結(jié)構(gòu)特性的維度定義微透鏡另一特性的測(cè)量。
 

　　本文件規(guī)定了微透鏡陣列中微透鏡幾何特性的測(cè)試項(xiàng)目、測(cè)試裝置及設(shè)備、測(cè)試準(zhǔn)備、測(cè)試原理及測(cè)試程序等內(nèi)容。本文件適用于表面浮雕結(jié)構(gòu)微透鏡陣列和梯度折射率微透鏡陣列。
 

　　測(cè)試項(xiàng)目：
 

　　測(cè)試項(xiàng)目包括：a) 間距和表面浮雕深度(矢高)；b) 物理厚度；c) 曲率半徑；d) 面形精度；e) 表面粗糙度；f) 填充因子。
 

　　測(cè)量準(zhǔn)備：
 

　　微透鏡陣列的幾何特性的測(cè)量原則上與使用接觸式輪廓儀測(cè)量其他任意表面相似。典型的接觸式輪廓儀包括一個(gè)探針(用于物理接觸表面)和一個(gè)傳感器(把垂直運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)化為電信號(hào))。其他部件見圖 3，包括：電機(jī)和變速箱驅(qū)動(dòng)的拾取組件，以恒定的速度將探針在表面上繪制；電子放大器，將探針傳感器的信號(hào)提升到有用的水平；用于記錄放大信號(hào)的設(shè)備或自動(dòng)收集數(shù)據(jù)的計(jì)算機(jī)。
 

　　與微透鏡陣列表面接觸的探針部分通常是精密制造的金剛石尖端。由于微透鏡形狀限制，在某些陣列上探針端可能無法接觸谷底，使得測(cè)量結(jié)果失真或被過濾。探針壓力會(huì)對(duì)測(cè)量結(jié)果產(chǎn)生顯著影響。壓力過高可能會(huì)損壞陣列表面。壓力過低，探針無法可靠地與表面接觸。
 

　　接觸式輪廓儀應(yīng)當(dāng)盡可能遠(yuǎn)離灰塵、振動(dòng)和陽光直射等環(huán)境中使用，環(huán)境溫度保持在20°C±2°C 范圍內(nèi)(無冷凝濕度低于 70%相對(duì)濕度)。最好用過濾的空氣吹表面，清除儀器表面的任何嚴(yán)重臟污。并使用合適的溶劑去除油或油脂。
 

　　在環(huán)境較差條件下進(jìn)行測(cè)試，應(yīng)充分考慮環(huán)境的影響。
 

　　測(cè)試報(bào)告：
 

　　測(cè)試結(jié)果應(yīng)記錄在案，并應(yīng)包括以下信息(如適用)：
 

　　a) 一般信息：
 

　　1)測(cè)試已按照 GB/T 41869.4-XXXX 執(zhí)行；
 

　　2)校準(zhǔn)日期、校準(zhǔn)程序和校準(zhǔn)不確定性評(píng)估；
 

　　3)測(cè)試日期；
 

　　4)測(cè)試機(jī)構(gòu)的名稱和地址；
 

　　5)相關(guān)認(rèn)證；
 

　　6)執(zhí)行測(cè)試的個(gè)人的姓名；
 

　　b)被測(cè)微透鏡的信息：
 

　　1)微透鏡類型；
 

　　2)制造商；
 

　　3)制造商型號(hào)；
 

　　4)序列號(hào)；
 

　　c) 測(cè)試條件：
 

　　1) 使用測(cè)試方法；
 

　　2) 測(cè)試設(shè)備：
 

　　i)接觸表面輪廓儀;制造商和型號(hào)；
 

　　ii)千分尺；制造商和型號(hào)；
 

　　iii)白光干涉儀；制造商和型號(hào)
 

　　ⅳ)激光共焦顯微鏡;制造商和型號(hào)
 

　　ⅴ)顯微鏡；制造商和型號(hào)
 

　　3) 測(cè)量參數(shù)：
 

　　i)探針半徑；
 

　　ii)儀器速度；
 

　　iii)采樣頻率；
 

　　iv)采樣長度；
 

　　ⅴ)測(cè)量物鏡及目鏡倍率
 

　　4) 測(cè)量時(shí)的環(huán)境條件：
 

　　i)溫度；
 

　　ii)相對(duì)濕度。
 

　　d) 測(cè)試結(jié)果：
 

　　1)間距；
 

　　2)表面浮雕深度；
 

　　3)物理厚度；
 

　　4)曲率半徑；
 

　　5)面型精度；
 

　　6)表面粗糙度；
 

　　7)填充因子；
 

　　8)不確定表。
 

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