【儀表儀表網 儀表研發】3月15日，國家重點研發計劃“重大科學儀器設備開發”重點專項“微納結構動態特性測試儀”項目在天津啟動。該項目未來可實現對精密元器件“納米”級別的檢測，彌補人力識別檢測的不足，為天津先進制造業發展提供支撐。該項目共投資1448萬元，實施周期為3年。
“微納結構動態特性測試儀”項目由天地偉業技術有限公司牽頭，聯合清華大學、余姚舜宇智能光學技術有限公司、中國科學院長春光學精密機械與物理研究所、天津大學等8家單位共同承擔。
科學儀器設備是科學研究和技術創新的基石，是經濟社會發展和國防安全的重要保障。但是目前，我國元器件測量依賴于進口儀器設備。因此，我國將“微納結構動態特性測試儀”項目列入“國家重點研發計劃”，支持國產化高精度儀器研究和產業化。而目前天津正在重點打造人工智能、新能源新材料、生物醫藥等重點高科技產業，尤其是微納制造領域具有一定優勢。
“微納結構動態特性測試儀”項目主要針對微納結構與微機電系統(MEMS)器件動態特性測試的需求，突破高信噪比時空調制和自動調焦等關鍵技術，開發具有自主知識產權、質量穩定可靠、核心部件國產化的微納結構動態特性測試儀，開發相關軟件和數據庫，實現微納結構與MEMS器件的振動頻率、模式模態等特性測量分析以及典型缺陷識別。
項目完成后，將打破國外公司的技術壟斷，實現高性能關鍵部件國產化及微結構動態特性測試產品系列化，并在航空航天和民品MEMS研發生產領域開展應用開發與示范，實現儀器工程化和產業化推廣。
根據統計，目前已有141個重大科學儀器專項落在企業，就是要在中國形成一批有世界競爭力的儀器企業，為國內產業發展提供支撐力。
(資料來源：北方網、科技部、上海市計量測試技術研究院)
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