測頭是三坐標測量機的關鍵部件，它直接影響三坐標測量機的測量精度、測量重復性、操作的自動化程度及檢測效率。

一、觸發式測頭CP100T

觸發式測頭是使用最多的一種測頭，是一個高靈敏的開關式傳感器。當測針與工件接觸而產生角度變化時，發出一個開關信號，這個信號傳送到控制系統后，控制系統對此刻的光柵計數器中的數據鎖存，經處理后傳送給測量軟件，表示測量了一個點。

CP100T測頭系統主要由兩部分構成：測頭本體和可分離測頭吸盤

CP100T配置測針和加長桿，要根據測頭的承載能力。如果測針和加長桿的重量超出測頭承載能力，會造成誤觸發或縮短測頭壽命及精度。

CP100T測頭采用的是單點觸發式測量，主要用于零件的常規檢測，并非始終貼著工件表面，而是單點的方式。

二、掃描測頭CP500S

掃描測頭測端在接觸被測工件后，連續測得接觸位移，測頭的轉換裝置輸出與測桿的微小偏移成正比的信號，這類測頭既能測量空間點的坐標位置，又能掃描測量曲線曲面，不僅可以發出觸測信號，而且可以給出測端微位移，但該類測頭結構復雜，目前只有少數公司可以生產。

CP500S測頭系統主要由三部分構成CP500S掃描測頭+CP500S-S/L掃描模塊+測針吸盤。用戶可從2個掃描模塊（可安裝長度從20mm至230mm的M3測針）中任意選擇一個。

CP500S掃描測頭采用高分辨率光柵系統，系統分辨率小于0.1um，使得測量機能夠快速采集大量點，保證了機器精準定位及高重復性，從而實現檢測和數字化的目的。該測頭可以實現貼著工件表面的連續掃描，主要用于曲線曲面零件的檢測，精度高，速度快。

對于人形機器人擺線輪、葉片、葉盤、葉輪等零件的掃描，使用CP500S掃描測頭，既提高檢測的速度，又保證了精度的要求。