原子熒光光度計也叫做原子熒光光譜儀，主要應用在食藥檢測、環境監測、醫療衛生、科研教學等領域。在工作中，樣品原子化階段主要是要保證被測元素的充分原子化，并減少原子濃度的衰減。其中具有屏蔽氣的石英原子化器可以防止周圍大氣的滲入，從而保證了較高且較穩定的原子化率。而且為保證被測元素的充分原子化可以提高原子化器的溫度以及選擇好的原子化環境來實行。因為原子熒光光度計采用的是氬-氫焰，因此原子化的位置就顯得十分重要。
原子熒光光度計是利用硼氫話鉀或硼輕化鈉作為還原劑，將樣品溶液中的待分析元素還原為揮發性共價氣態氫化物（或原子蒸汽），然后借助載氣將其導入原子化器，在氬—氫火焰中原子化而形成基態原子。基態原子吸收光源的能量而變成激發態，激發態原子在去活化過程中將吸收的能量以熒光的形式釋放出來，此熒光信號的強弱與樣品中待測元素的含量成線性關系,因此通過測量熒光強度就可以確定樣品中被測元素的含量。
目前原子熒光光度計已經獲得了分析人員的，是原子吸收光譜分析、原子發射光譜分析的一種有效補充，在國內已獲得廣泛的應用。在多種元素、多個領域中均建立了相關標準。
1、儀器結構簡單，AFS的譜線相對簡單，元素間譜線重疊少，無需色散系統。
2、靈敏度高，檢出限低，AFS的檢出限可以達到pg/mL量級。
3、選擇性好，原子光譜是元素的固有特征，故具有良好的選擇性。
4、試樣用量少，AFS一般為1mL左右。
5、AFS有一定的多元素分析能力，但是需要多通道設計，沒有ICP可分析檢測的元素種類多。
6、AFS的適用范圍不如AAS和AES廣，AFS僅能測有氫化物（冷蒸汽）發生的十幾種元素，AAS和AES可以測70多種元素。
