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        哈爾濱芯明天科技有限公司
        
		
		
        
			
		
		
        
	
        



        
    	
    	
        
		
		
        
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        壓電物鏡掃描器的特性說明
        
			
        
				時間：2018-5-16
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          哈爾濱芯明天科技有限公司
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					壓電物鏡掃描器的特性說明
        　　產品特性
        　　外形尺寸：40x48x34.5mm，結構緊湊，易于集成，靈活的螺紋轉接器，zui大螺紋接口M28；
        　　行程為100um，分辨率為0.5nm；
        　　采用無摩擦高精度柔性鉸鏈導向系統，快速響應；
        　　內置高性能的壓電陶瓷，高可靠性；
        　　內置精密位移傳感器進行全閉環位置反饋，開/閉環可供選擇。
        　　壓電物鏡掃描器是采用壓電陶瓷驅動的納米級壓電物鏡位移器，壓電物鏡位移器內部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導向機構，采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構，柔性導向系統具有超高的導向精度，且具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點，壓電物鏡位移器內置精密位移傳感器進行全閉環的位置反饋，確保了壓電位移器具有的運動控制精度，定位精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級，定位穩定時間僅為毫秒量級。
        
			
        
			
		
        
	
        

        

        
        




    

    

    

	 
    
    				
			

		
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    

    

     
     
     
	 



		 


        
	
        
		
        
			
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