螺桿真空泵的使用流程

螺桿真空泵的使用流程需嚴(yán)格遵循 “開(kāi)機(jī)前檢查→開(kāi)機(jī)操作→運(yùn)行監(jiān)控→停機(jī)操作→停機(jī)后維護(hù)" 的邏輯順序，確保設(shè)備安全、高效運(yùn)行，同時(shí)避免因操作不當(dāng)導(dǎo)致故障。以下是詳細(xì)步驟及關(guān)鍵注意事項(xiàng)：

一、開(kāi)機(jī)前檢查（核心：排除安全隱患，確認(rèn)設(shè)備狀態(tài)）

開(kāi)機(jī)前需全面排查設(shè)備及周邊環(huán)境，重點(diǎn)關(guān)注 “安全、潤(rùn)滑、密封、電路" 四大維度，具體如下：

1. 安全與環(huán)境檢查

①　確認(rèn)真空泵周邊無(wú)雜物堆積，預(yù)留至少 0.5 米操作空間，避免散熱不良或操作受阻；

②　檢查設(shè)備接地是否牢固（接地電阻≤4Ω），電源線(xiàn)、控制線(xiàn)無(wú)破損、老化，防止漏電風(fēng)險(xiǎn)；

③　若抽除的是腐蝕性、易燃易爆氣體，需確認(rèn)配套的氣體過(guò)濾 / 防爆裝置（如活性炭過(guò)濾器、阻火器）已安裝且完好，排氣管道連接緊密、無(wú)泄漏。

2. 潤(rùn)滑系統(tǒng)檢查

①　打開(kāi)齒輪箱油位觀(guān)察窗，確認(rèn)潤(rùn)滑油（通常為專(zhuān)用真空泵齒輪油，需符合設(shè)備說(shuō)明書(shū)牌號(hào)，如 ISO VG 46）油位在 “低" 與 “高" 刻度之間，油質(zhì)清澈無(wú)乳化、發(fā)黑或雜質(zhì)；

②　若設(shè)備停機(jī)超過(guò) 1 個(gè)月，需手動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)聯(lián)軸器 2-3 圈，檢查是否有卡滯，同時(shí)讓潤(rùn)滑油均勻覆蓋齒輪表面，避免啟動(dòng)時(shí)干摩擦。

3. 冷卻系統(tǒng)檢查

①　若為水冷型真空泵，檢查冷卻水入口閥門(mén)是否開(kāi)啟，冷卻水管路無(wú)堵塞、泄漏，水壓（通常 0.1-0.3MPa）、水溫（≤32℃）符合要求；

②　若為風(fēng)冷型，確認(rèn)散熱風(fēng)扇葉片無(wú)變形、異物纏繞，風(fēng)扇電機(jī)接線(xiàn)正常。

4. 密封與真空系統(tǒng)檢查

①　檢查真空泵進(jìn)氣口、排氣口的法蘭密封墊（常用丁腈橡膠或氟橡膠，根據(jù)氣體性質(zhì)選擇）是否完好，連接螺栓無(wú)松動(dòng)；

②　關(guān)閉進(jìn)氣閥門(mén)，手動(dòng)關(guān)閉排氣端的止回閥（若有），確保泵腔初始密封良好，避免啟動(dòng)時(shí)氣體倒灌。

5. 儀表與閥門(mén)檢查

①　確認(rèn)真空壓力表、溫度表（齒輪箱溫度、排氣溫度）、電流儀表等顯示正常；

②　檢查進(jìn)氣閥、排氣閥、旁通閥（若有）的開(kāi)關(guān)狀態(tài)，確保開(kāi)機(jī)前進(jìn)氣閥關(guān)閉、旁通閥（用于卸荷啟動(dòng)）打開(kāi)（部分設(shè)備無(wú)需旁通閥，以說(shuō)明書(shū)為準(zhǔn)）。

二、開(kāi)機(jī)操作（核心：平穩(wěn)啟動(dòng)，避免沖擊負(fù)荷）

嚴(yán)格按照 “先輔助系統(tǒng)→后主電機(jī)→再加載" 的順序啟動(dòng)，具體步驟如下：

1. 啟動(dòng)輔助系統(tǒng)

①　若為水冷型，先打開(kāi)冷卻水循環(huán)泵（或開(kāi)啟冷卻水總閥），確認(rèn)冷卻水正常流通（觀(guān)察排水管有穩(wěn)定水流）；

②　若設(shè)備配有真空度控制儀、PLC 控制系統(tǒng)，先接通控制電源，進(jìn)入設(shè)備操作界面。

2. 啟動(dòng)主電機(jī)（卸荷啟動(dòng)）

①　閉合主電源開(kāi)關(guān)，按下 “啟動(dòng)" 按鈕，觀(guān)察電機(jī)轉(zhuǎn)向是否正確（若反轉(zhuǎn)，需立即停機(jī)，調(diào)換電源線(xiàn)相位）；

②　電機(jī)啟動(dòng)后，保持旁通閥開(kāi)啟（或進(jìn)氣閥關(guān)閉）狀態(tài)，讓真空泵在 “無(wú)負(fù)荷" 下運(yùn)行 3-5 分鐘，期間觀(guān)察：

齒輪箱溫度（正常≤80℃）、電機(jī)電流（不超過(guò)額定電流的 110%）；

設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)聲音（應(yīng)無(wú)異常噪音，如 “咔噠" 摩擦聲、“嗡嗡" 過(guò)載聲）。

3. 加載（開(kāi)啟抽氣）

①　待電機(jī)運(yùn)行平穩(wěn)（通常 3-5 分鐘后），緩慢打開(kāi)進(jìn)氣閥門(mén)（建議開(kāi)度從 1/4 逐步增至全開(kāi)，避免瞬時(shí)進(jìn)氣量過(guò)大導(dǎo)致泵腔壓力驟降、電機(jī)過(guò)載）；

②　若配有旁通閥，在進(jìn)氣閥打開(kāi)的同時(shí)，緩慢關(guān)閉旁通閥，直至關(guān)閉；

③　觀(guān)察真空壓力表，確認(rèn)真空度逐步上升，達(dá)到工藝要求范圍（如半導(dǎo)體行業(yè)通常需≤1Pa，化工干燥需≤100Pa，具體以工藝需求為準(zhǔn)）。

三、運(yùn)行監(jiān)控（核心：實(shí)時(shí)跟蹤關(guān)鍵參數(shù)，及時(shí)預(yù)警）

設(shè)備運(yùn)行期間需定期巡檢（建議每 1-2 小時(shí)記錄 1 次數(shù)據(jù)），重點(diǎn)監(jiān)控以下 5 個(gè)關(guān)鍵參數(shù)，異常時(shí)立即停機(jī)排查：

1. 真空度

①　正常范圍（參考）：符合工藝要求，無(wú)驟降

②　異常原因及處理建議：驟降可能為進(jìn)氣閥泄漏、密封墊破損→停機(jī)檢查密封；緩慢下降可能為泵腔磨損→聯(lián)系維修

2. 齒輪箱溫度

①　正常范圍（參考）：≤80℃（最高不超過(guò) 90℃）

②　異常原因及處理建議：超溫可能為潤(rùn)滑油不足 / 變質(zhì)、冷卻失效→停機(jī)檢查油位 / 冷卻系統(tǒng)

3. 電機(jī)電流

①　正常范圍（參考）：≤額定電流（如 15kW 電機(jī)≤28A）

②　異常原因及處理建議：過(guò)載可能為進(jìn)氣量過(guò)大、轉(zhuǎn)子卡滯→減小進(jìn)氣量或停機(jī)檢查轉(zhuǎn)子

4. 排氣溫度

①　正常范圍（參考）：≤120℃（水冷）/≤150℃（風(fēng)冷）

②　異常原因及處理建議：超溫可能為冷卻不足、氣體壓縮量過(guò)大→檢查冷卻系統(tǒng)或工藝負(fù)載

5. 運(yùn)轉(zhuǎn)聲音

①　正常范圍（參考）：均勻、低沉，無(wú)尖銳噪音

②　異常原因及處理建議：異常噪音可能為齒輪磨損、軸承損壞、轉(zhuǎn)子間隙過(guò)大→停機(jī)拆解檢查

此外，若抽除含粉塵或可凝性氣體（如水蒸氣），需每 4 小時(shí)檢查進(jìn)氣過(guò)濾器是否堵塞（通過(guò)過(guò)濾器前后壓差判斷，壓差≥0.02MPa 時(shí)需清洗或更換濾芯），避免進(jìn)氣阻力過(guò)大影響抽速。

四、停機(jī)操作（核心：逐步卸荷，保護(hù)設(shè)備與系統(tǒng)）

停機(jī)需遵循 “先卸荷→后停主電機(jī)→再關(guān)輔助系統(tǒng)" 的順序，避免真空系統(tǒng)倒灌或設(shè)備沖擊，具體步驟如下：

1. 卸荷（停止抽氣）

①　先緩慢關(guān)閉進(jìn)氣閥門(mén)，若配有旁通閥，可同時(shí)緩慢打開(kāi)旁通閥（平衡泵腔壓力），讓真空泵在 “無(wú)負(fù)載" 狀態(tài)下運(yùn)行 2-3 分鐘，排出泵腔內(nèi)殘留氣體；

②　若工藝系統(tǒng)需保持真空，需先關(guān)閉真空泵與系統(tǒng)連接的閥門(mén)，再進(jìn)行卸荷操作。

2. 停止主電機(jī)

①　按下 “停機(jī)" 按鈕，待電機(jī)停止轉(zhuǎn)動(dòng)（通常需 1-2 分鐘）后，斷開(kāi)主電源開(kāi)關(guān)；

②　若設(shè)備配有排氣止回閥，確認(rèn)停機(jī)后止回閥已關(guān)閉，防止大氣倒灌進(jìn)泵腔。

3. 關(guān)閉輔助系統(tǒng)

①　若為水冷型，待齒輪箱溫度降至 50℃以下后，再關(guān)閉冷卻水循環(huán)泵或冷卻水總閥（避免殘留熱量導(dǎo)致部件損壞）；

②　斷開(kāi)控制電源，關(guān)閉設(shè)備操作界面。

4. 緊急停機(jī)（特殊情況）

①　若出現(xiàn)以下緊急情況，需立即按下 “急停" 按鈕：電機(jī)冒煙、齒輪箱溫度驟升超 100℃、設(shè)備劇烈振動(dòng)、大量漏油 / 漏水、有刺鼻異味（如燒焦味）；

②　緊急停機(jī)后，需排查故障原因，未解決前不得重新啟動(dòng)。

五、停機(jī)后維護(hù)（核心：延長(zhǎng)設(shè)備壽命，預(yù)防下次故障）

停機(jī)后需進(jìn)行基礎(chǔ)維護(hù)，為下次啟動(dòng)做好準(zhǔn)備，具體如下：

1. 清潔與檢查

①　擦拭設(shè)備表面油污、灰塵，清理進(jìn)氣過(guò)濾器濾芯（可壓縮空氣反吹，若為紙質(zhì)濾芯需更換）；

②　檢查密封墊、連接螺栓，若有松動(dòng)及時(shí)緊固，密封墊老化（如變硬、開(kāi)裂）需更換。

2. 潤(rùn)滑油維護(hù)

①　若設(shè)備累計(jì)運(yùn)行超過(guò) 2000 小時(shí)（或 6 個(gè)月，以先到為準(zhǔn)），需更換齒輪箱潤(rùn)滑油：打開(kāi)放油閥排空舊油，用新油沖洗 1-2 次（每次加入 1/3 新油量，轉(zhuǎn)動(dòng)聯(lián)軸器后排空），再加入規(guī)定量新油；

②　長(zhǎng)期停機(jī)（超過(guò) 1 個(gè)月）時(shí)，需在進(jìn)氣口、排氣口法蘭處加蓋防塵罩，防止雜物進(jìn)入。

3. 記錄與歸檔

①　記錄本次運(yùn)行時(shí)間、真空度、溫度、電流等關(guān)鍵數(shù)據(jù)，以及出現(xiàn)的異常情況和處理措施，形成設(shè)備運(yùn)行檔案，便于后續(xù)故障追溯和維護(hù)計(jì)劃制定。