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        上海伯東企業有限公司
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        伯東 KRI 考夫曼射頻離子源在 PCB 鉆頭銑刀上的應用

        時間:2020/11/13閱讀:636
        分享:

        電子工業的飛速發展對線路板制造業的要求越來越高, 線路板層數越來越高, 孔密越來越大并向微孔化不斷發展, 某國內制造商為了銑刀進行銑邊及成型加工時, 減少產品的披鋒、毛刺及銑刀斷刀, 采用伯東 KRI 考夫曼聚焦型射頻離子源 RFICP380輔助鉆頭銑刀上鍍膜.

         

        該制造商的真空離子鍍膜技術, 利用 KRI 考夫曼聚焦型射頻離子源 RFICP380 轟擊靶材形成離子, 并使離子在強磁場的驅動下吸附于鉆頭或鑼刀上形成鍍層, 制備出鍍膜鉆頭及鍍膜銑刀.

        用于濺射的 KRI 聚焦型射頻離子源 RFICP380 技術參數:

        射頻離子源型號

        RFICP380

        Discharge 陽極

        射頻 RFICP

        離子束流

        >1500 mA

        離子動能

        100-1200 V

        柵極直徑

        30 cm Φ

        離子束

        聚焦

        流量

        15-50 sccm

        通氣

        Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

        典型壓力

        < 0.5m Torr

        長度

        39 cm

        直徑

        59 cm

        中和器

        LFN 2000

         

        推薦理由:

        聚焦型濺射離子源一方面可以增加束流密度, 提高濺射率; 另一方面減小離子束的散射面積, 減少散射的離子濺射在靶材以外的地方引起污染

         

        運行結果:

        1. 結果表面, 采用鍍膜鉆頭, 可以明顯增加鉆孔孔限, 減少披鋒, 節約成本;
        2. 采用鍍膜銑刀進行銑邊及成型加工時, 有利于減少產品的披鋒、毛刺及銑刀斷刀, 提高生產效率及節約成本

         

        伯東是德國 Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質譜儀, 真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國HVA 真空閥門, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機, 美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口品牌的代理商.

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