陜西威爾機電科技有限公司
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產(chǎn)品型號WaleSurf10系列
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地
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更新時間:2025-10-01 08:59:55瀏覽次數(shù):68次
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穩(wěn)定,是一切測量的核心
對于任何測量設(shè)備而言,測量是否穩(wěn)定無疑是評價其性能優(yōu)劣的核心項目之一。一臺的測量設(shè)備,必須能夠在各種復雜環(huán)境下保持高精度和一致性,從而為用戶提供值得信賴的測量結(jié)果。
Walesurf10的抗震系統(tǒng)、高精度測量構(gòu)件以及非凡的穩(wěn)定性表現(xiàn),成為了眾多領(lǐng)域中的理想測量設(shè)備。它能夠以高精度、高穩(wěn)定性完成各項測量任務,為用戶提供準確可靠的測量結(jié)果,是性能的之作。
| 項目 | WaleSurf-10 | WaleSurf-10 plus | ||
| 測量范圍 | X軸 | 120-150mm | 120-220mm | |
| X軸分辨率 | 1.2nm | 1nm | ||
| Z軸 | 320-620mm | 320-620mm | ||
| 輪廓傳感器 | Z1軸量程 | 20㎜ | 20㎜ | |
| Z1分辨率 | 1.2nm | 1nm | ||
| 輪廓精度 | Z1線性精度 | ≤±(0.3+|0.02H|)μm | ≤±(0.2+|0.015H|)μm | |
| 圓弧 | 士(0.8+R/12)μm | 士(0.5+R/12)μm | ||
| 圓弧Pt | ≤0.3μm | ≤0.2μm | ||
| 角度 | ±1′ | ±1′ | ||
| 直線度 | 0.2um/100mm(截止波長0.8) | 0.1um/100mm(截止波長0.8) | ||
| 粗糙度精度 | 指示精度 | ≤±(5nm +2%) | ≤±(3nm +1.8%) | |
| 殘值噪聲 | ≤0.005μm | ≤0.002μm | ||
| 重復性 | 1δ≤1nm | 1δ≤0.8nm | ||
| 截止波長 | 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm | 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm | ||
| 評定長度 | λC×2、3、4、5、6、7 | λC×2、3、4、5、6、7 | ||
| 驅(qū)動速度 | X軸驅(qū)動方式 | 電動 | 電動 | |
| Y軸驅(qū)動方式 | 電動 | 電動 | ||
| X軸驅(qū)動速度 | 0.1-20mm/s | 0.1-20mm/s | ||
| Z軸驅(qū)動速度 | 0.5-50mm/s | 0.5-50mm/s | ||

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