DL10-GT14-ST-21型方塊電阻測(cè)試儀使用說明書
目 錄
- 概述
- 技術(shù)指示
- 工作原理
- 儀器結(jié)構(gòu)說明
- 使用方法
- 注意事項(xiàng)
一．概述
DL10-GT14-ST-21型方塊電阻測(cè)試儀是四探針方塊電阻測(cè)試儀中的新一代產(chǎn)品，是一種依照類似國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)和美國(guó)A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)，專門測(cè)量半導(dǎo)體方塊電阻(或稱薄屋電阻、面電阻，單位Ω/□)的新型儀器?？捎糜跍y(cè)量一般半導(dǎo)體材料、導(dǎo)電薄膜(如ITO透明導(dǎo)電氧化膜)……等同類物質(zhì)的薄層電阻。
該儀器以大規(guī)模集成電路為主要核心；用基準(zhǔn)電源和運(yùn)算放大器組成高精度穩(wěn)流源；帶回路有效正常指示電路；并配以大型LCD顯示讀數(shù)，使儀器具有體積小、重量輕、外形美、易操作、測(cè)量速度快、精度高的特點(diǎn)。
二．技術(shù)指標(biāo)
- 測(cè)量范圍：
按方塊電阻量值大小分為二個(gè)量程檔：
1 1.00～199.99Ω/□；
2 10.0～1999.9Ω/□；
小分辨率：0.01Ω/□；
- 恒流源：
測(cè)量過程誤差：≤±0.8%；
- 模數(shù)轉(zhuǎn)換器：
量程：0～199.99mv；
分辨率：10μv；
方式：LCD大屏幕顯示；極性，超量程均自動(dòng)顯示；小數(shù)點(diǎn)同步顯示；
- 測(cè)量不確定度：
在整個(gè)量程范圍內(nèi)，測(cè)量不確定度≤5%；
- 四探針頭：
間距：1mm或3.8mm可選,偏差：≤2%；
針間絕緣電阻≥500MΩ；
- 電源：
9V疊層電池1節(jié)；
三．工作原理
如下圖(圖1)所示，將四根探針在同一直線上排列的探針以一定壓力垂直壓在被測(cè)樣品表面上，在1，4探針間通以電流I時(shí)，2、3探針間就產(chǎn)生一定的電壓降ΔV。
圖1
根據(jù)理論公式（見下），
(Ω/□)
其中：
D:樣品直徑或長(zhǎng)、寬度；
W：擴(kuò)散層或鍍膜層厚度；
S：探針間距；
F（D/S）：樣品直徑修正因子；
F（W/S）：樣品厚度修正因子；
Fsp：探針修正系數(shù)；
當(dāng)測(cè)量很薄的半導(dǎo)體雙面擴(kuò)散層或玻璃鍍層的方塊電阻時(shí)，被測(cè)材料可作類似無窮大，此時(shí)，公式中的F（D/S）=4.532；F（W/S）=1，選取探針間距S=1mm；則Fsp=1，這時(shí)就有：
(Ω/□)
當(dāng)取測(cè)量電流I=4.532×10n(mA)時(shí)，即可從顯示屏直接讀取被測(cè)材料的方塊電阻。
四．儀器結(jié)構(gòu)說明
DL10-GT14-ST-21型手提式方塊電阻測(cè)試儀，由電氣主機(jī)和探頭(手提式或臺(tái)式均可)組成。兩部分用訊號(hào)電纜和接插件相連。
面板如下圖所示，顯示屏用于顯示測(cè)量的方塊電阻數(shù)據(jù)結(jié)果。面板及顯示屏指示標(biāo)志說明如下：
五．使用方法
- 用連接電纜將探頭與方塊電阻測(cè)試儀主機(jī)連接好。
- 測(cè)量時(shí)，將電源開關(guān)打開（開關(guān)下位）。如顯示屏LCD顯示“ ”時(shí)，表示電池欠壓，請(qǐng)予更換（更換電池方法，請(qǐng)參考“7”）。
- 用探頭平壓在被測(cè)物上，即可測(cè)量。
- 測(cè)量過程中，當(dāng)面板上“回路有效指示燈”LED發(fā)亮?xí)r，表示該次測(cè)量讀數(shù)有效，否則此次測(cè)量讀數(shù)無效。
- 對(duì)大于10.0Ω/□的樣品，推薦使用2000.0Ω/□量程；使用200.00Ω/□量程時(shí)，如顯示屏顯示1，表示超量程請(qǐng)使用2000.0Ω/□量程檔。
- 為了節(jié)約電池使用完成測(cè)量后，請(qǐng)將電源關(guān)閉（開關(guān)上位）。
- 更換電池：將電源開關(guān)關(guān)閉（開關(guān)上位），打開機(jī)殼后的小蓋，重新裝上一節(jié)9V電池，然后裝回后蓋。
- 長(zhǎng)期不使用本儀器時(shí)，請(qǐng)將電池從機(jī)內(nèi)取出。
六．注意事項(xiàng)
- 如果被測(cè)導(dǎo)電薄膜材料表面上不干凈，存在油污或材料暴露在空氣中時(shí)間過長(zhǎng)，形成氧化層，會(huì)影響測(cè)試穩(wěn)定性和測(cè)試精度。在測(cè)試中需要引起注意。
- 如探頭的探針存在油污等也會(huì)引起測(cè)試不穩(wěn)，此時(shí)可以把探頭在干凈的白紙上滑動(dòng)幾下擦一擦可以了。
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