深圳市瑞盛科技有限公司
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閱讀：6發布時間：2025-7-20
氦質譜檢漏技術是真空泵檢漏行業中的技術，由于檢漏簡單、操作方便、儀器設備靈活、精度高，且不受其他氣體的影響，在電加熱爐檢漏中得到了廣泛的應用。氦質譜檢漏儀是根據質譜基本原理，以氦作為檢漏指示氣體制成的氣密性檢測儀。由離子源、分解器、回收器、冷陰極水解儀、真空萃取系統軟件和部分電氣設備組成的質譜分析室。質譜室中鎢絲發出的電子器件在室內來回振蕩，與室內氣體碰撞，氦氣通過泄漏孔進入室內，水解成正離子。這種氦正離子以加速靜電場效應進入電磁場，因為洛倫茲力效應引起位移，產生弧形軌跡，改變加速工作電壓，可以根據電磁場和到達接受極的接受狹縫測試不同質量的正離子。注氦法和吸氦法是電加熱爐氦質譜儀檢漏常用兩種方法。
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