P18.XY300壓電掃描臺典型應用領域

圖像處理與穩定 • 掃描顯微

• 干涉/計量 • 表面檢測

• 半導體測量 • 光學計量

應用實例-納米光刻

 在納米光刻實驗中需要對鏡片進行高速微納米級的精密移動，從而優化鏡片讀取的信息。芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高穩定性等優點應用于納米光刻實驗。

特性

• 大位移370μm

• 大承載3.5kg

• 通孔直徑：Ø35mm

• 閉環重復定位精度高 • 響應速度快

1~3維掃描臺

P18系列壓電掃描臺包括X/XY/XYZ三種結構形式，可以 滿足1~3維大行程掃描或定位的應用需求。

大位移、大承載、高剛度、高頻響

        P18系列壓電掃描臺內置高可靠性壓電陶瓷驅動，可以 實現大370μm的掃描范圍，運動直線性好，可選擇閉環版 本獲得優異的線性度與重復定位精度。

        P18采用*的結構設計，具有大剛度、大出力、大承 載等特點，大承載達3.5kg，空載諧振頻率達600Hz，配 套芯明天大功率控制器響應時間可達5ms，是精密加 工、半導體制造、掃描顯微等應用。