電容式，陶瓷壓阻式，硅壓阻式，單晶硅壓力傳感器的分類

1.電容式壓力、差壓傳感器的原理

電容式變送器有一個可變電容的傳感組件．該傳感器是一個*封閉的組件過程壓力、差壓通過隔離膜片和灌充液硅油傳到傳感膜片引起位移．傳感膜片和兩電容極板之間的電容差由電子部件轉換成（4-20）mA的兩線制輸出的電信號。

2 、陶瓷壓力傳感器原理及應用

抗腐蝕的陶瓷壓力傳感器沒有液體的傳遞，壓力直接作用在陶瓷膜片的前表面，使膜片產生微小的形變，厚膜電阻印刷在陶瓷膜片的背面，連接成一個惠斯通電橋（閉橋），由于壓敏電阻的壓阻效應，使電橋產生一個與壓力成正比的高度線性、與激勵電壓也成正比的電壓信號，標準的信號根據壓力量程的不同標定為2.0/ 3.0 / 3.3mV/V等，可以和應變式傳感器相兼容。通過激光標定，傳感器具有很高的溫度穩定性和時間穩定性，傳感器自帶溫度補償0～70℃，并可以和絕大多數介質直接接觸。

3 、擴散硅（硅壓阻）壓力傳感器原理及應用

工作原理被測介質的壓力直接作用于傳感器的膜片上（不銹鋼或陶瓷），使膜片產生與介質壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻值發生變化，和用電子線路檢測這一變化，并轉換輸出一個對應于這一壓力的標準測量信號。利用應變電阻式工作原理，采用硅-藍寶石作為半導體敏感元件，具有****的計量特性。一般的差壓變送器所用傳感器的種類有很多，幾十年來技術更新出很多種；例如差壓變送器，用擴散硅做差壓傳感器那已經是很落后技術了。電容的差壓模盒是所用較多的技術，典型的就是羅斯蒙特的差壓變送器，它所用的技術就是電容技術，這種技術也是比較古老的技術了，但是可以說這個技術是目前經久不衰的技術。其他的差壓傳感器出現了硅諧振等新式技術，例如日本EJA等。在性能方面無論是電容式還是其他的都有各自的優缺點，在性能方面是不相上下的！但是技術歸技術，你還要考慮到生產廠家的生產工藝等因素對產品質量的影響，所以*好還是選擇正規有實力的廠家的差壓傳感器！

4. 單晶硅傳感器

在單晶硅芯片上采用微電子機械加工技術(MEMS)，分別在其表面的中心和邊緣制成兩個形狀、大小*一致的H形諧振梁，且處于微型真空腔中，使其既不與充灌液接觸，又確保振動時不受空氣阻尼的影響。硅諧振梁處于由磁鐵提供的磁場中，與變壓器、放大器等組成一正反饋回路，讓諧振梁在自激振蕩回路中作高頻振蕩。當單晶硅片的上下表面受到壓力并形成壓力差時，硅片將產生變形，導致中心諧振梁因壓縮力而頻率減小，邊緣諧振因受拉伸力而頻率增加，因而使兩個H形諧振梁分別感受到不同應變作用，其結果是中心諧振梁因受壓縮力而頻率減少，邊緣諧振梁因受到張力而頻率增加，兩個頻率之差對應不同的壓力信號