SEM主動(dòng)隔振平臺(tái)的作用與使用要求

來源：上海倍藍(lán)光電科技有限公司 2023年02月17日 15:25

SEM-Base® VI是下一代STACIS主動(dòng)壓電消振產(chǎn)品。SEM-Base VI被設(shè)計(jì)用于支撐所有商用掃描電子顯微鏡（SEM）以及許多聚焦離子束（FIB）和小型雙光束儀器。SEM-Base VI具有更好的隔振性能、更快、更強(qiáng)大的控制器和**圖形用戶界面（GUI）。SEM-Base VI使許多實(shí)驗(yàn)室和設(shè)施達(dá)到了滿足工具制造商規(guī)格所需的地面振動(dòng)水平。

SEM-Base VI采用“串行結(jié)構(gòu)”，其中的振動(dòng)傳感器測量地面振動(dòng)，而不是有效載荷振動(dòng)。與其他設(shè)計(jì)不同，這確保了有效載荷共振不會(huì)限制隔振或造成不穩(wěn)定。振動(dòng)傳感器是低頻慣性速度傳感器，在難以測量的亞Hz范圍內(nèi)具有**靈敏度。結(jié)合壓電致動(dòng)器技術(shù)，SEM-Base VI即使在安靜的地面上也能實(shí)現(xiàn)*高的消振水平。

SEM-Base VI可提供與以前型號(hào)平均高6 dB的隔振。此外，TMC的下一代控制器DC-2020采用了新的雙核處理器，為工具所有者和研究人員提供了一個(gè)非常簡單易用的圖形界面，可實(shí)現(xiàn)快速系統(tǒng)評(píng)估和安全操作。通過以太網(wǎng)連接時(shí)，DC-2020將在用戶的瀏覽器中創(chuàng)建SEM-Base GUI，無需安裝其他軟件或應(yīng)用程序。此外，用戶也可以通過板載菜單驅(qū)動(dòng)的液晶顯示器（LCD）與控制器連接。

注意：請(qǐng)參見SEM-Closure，這是一種專為保護(hù)SEM而設(shè)計(jì)的整體環(huán)境解決方案。它可以將SEM-Base和Mag-NetX® 固定在一個(gè)密封和溫控聲學(xué)室中 - 從而保護(hù)SEM免受振動(dòng)、磁場干擾和聲學(xué)噪聲的影響。

尺寸與環(huán)境要求

環(huán)境和安全	符合CE和RoHS標(biāo)準(zhǔn)
主動(dòng)隔振元件	**小承重能力為3300磅（1500千克）的壓電致動(dòng)器接收來自高壓放大器的信號(hào)，其輸出高達(dá)800 VDC。垂直執(zhí)行器支撐隔振的有效載荷
被動(dòng)隔振元件	單個(gè)硬彈性體（無需壓縮空氣源）
振動(dòng)傳感器元件	向下的地震檢波器型慣性傳感器，用于測量隔振器下方的地面振動(dòng)，并提供與振動(dòng)運(yùn)動(dòng)速度成正比的電壓
主動(dòng)反饋控制回路	在支撐隔振表面的彈簧下方測量、處理和支撐隔離面
尺寸(寬*深)	35.25 x 44.25英寸 895 x 1124毫米
高度	標(biāo)稱6.3英寸（160毫米）， SEM-Base關(guān)閉時(shí)不會(huì)改變
工作溫度	50° - 90° F 10° - 32° C
儲(chǔ)存溫度	-40° - 130° F -40° - 55° C
濕度	30 - 60%
系統(tǒng)電源要求	100、120、230、240 VAC 50/60 Hz AC； <600 W 符合CE標(biāo)準(zhǔn)
地面位移	<800 μin. (20 μm) below 10 Hzd>

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