共聚焦顯微鏡——光伏產(chǎn)業(yè)制造智能化測量新技術(shù)

我國智能光伏應(yīng)用持續(xù)升級，產(chǎn)業(yè)各環(huán)節(jié)產(chǎn)量又創(chuàng)新高。根據(jù)光伏行業(yè)規(guī)范公告企業(yè)信息和行業(yè)協(xié)會預(yù)測的數(shù)據(jù)來看，全國多晶硅、組件產(chǎn)量同比增長均超過60%，晶硅電池產(chǎn)品出口同比增長超過156%。

作為全尺寸鏈精密測量儀器制造商，為加快推進(jìn)產(chǎn)業(yè)智能制造和現(xiàn)代化水平，有效提升光伏產(chǎn)業(yè)智能制造水平，中圖儀器VT6000共聚焦顯微鏡可以為太陽能行業(yè)實驗室和生產(chǎn)過程檢測需求服務(wù)，提供從二維到三維的多尺度檢測手段。

VT6000共聚焦顯微鏡以針孔共聚焦技術(shù)為原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，對大坡度的產(chǎn)品有更好的成像效果，在滿足精度的情況下使用場景更具兼容性。

1.真彩圖像

配備了真彩相機(jī)并提供還原的3D真彩圖像，對細(xì)節(jié)的展現(xiàn)纖毫畢現(xiàn)；

2.結(jié)構(gòu)簡單：

儀器整體由一臺輕量化的設(shè)備主機(jī)和電腦構(gòu)成，控制單元集成在設(shè)備主機(jī)之內(nèi)，亦可采用筆記本電腦驅(qū)動。

(1)采用全電動化設(shè)計，并可無縫銜接位移軸與掃描軸的切換，圖像視窗和分析視窗同界面的設(shè)計風(fēng)格，實現(xiàn)了所見即所得的快速檢測效果。

(2)采用自研的電動鼻輪塔臺，并對軟件防撞設(shè)置與硬件傳感器防撞設(shè)置功能進(jìn)行了優(yōu)化，確保共聚焦顯微鏡在使用高倍物鏡僅不到1mm的工作距離時也能應(yīng)對。

VT6000共聚焦顯微鏡測量全自動化、精度高、快速測量、處理數(shù)據(jù)便捷等優(yōu)點，能對太陽能電池片微觀結(jié)構(gòu)進(jìn)行三維形貌重建：

1、能夠?qū)﹄姵匕褰q面這種表面反射率低且形貌復(fù)雜的樣品進(jìn)行三維形貌重建，并由專用分析模塊自動獲取絨面上每個金字塔的體積，比表面積等信息，計算出單位面積金字塔數(shù)量和不同尺寸金字塔的比例。

2、對柵線進(jìn)行快速檢測，軟件具備對視場內(nèi)的柵線自動測量功能，能夠?qū)呙璜@取的三維輪廓進(jìn)行多剖面分析，計算出每個剖面的柵線高度及寬度尺寸。

新一代測量技術(shù)與光伏產(chǎn)業(yè)融合創(chuàng)新，非傳統(tǒng)光學(xué)、白光和激光掃描測量設(shè)備是越來越多用戶的選擇。