共聚焦顯微鏡——光伏產業制造智能化測量新技術

我國智能光伏應用持續升級，產業各環節產量又創新高。根據光伏行業規范公告企業信息和行業協會預測的數據來看，全國多晶硅、組件產量同比增長均超過60%，晶硅電池產品出口同比增長超過156%。

作為全尺寸鏈精密測量儀器制造商，為加快推進產業智能制造和現代化水平，有效提升光伏產業智能制造水平，中圖儀器VT6000共聚焦顯微鏡可以為太陽能行業實驗室和生產過程檢測需求服務，提供從二維到三維的多尺度檢測手段。

VT6000共聚焦顯微鏡以針孔共聚焦技術為原理，結合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，對大坡度的產品有更好的成像效果，在滿足精度的情況下使用場景更具兼容性。

1.真彩圖像

配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像，對細節的展現纖毫畢現；

2.結構簡單：

儀器整體由一臺輕量化的設備主機和電腦構成，控制單元集成在設備主機之內，亦可采用筆記本電腦驅動。

(1)采用全電動化設計，并可無縫銜接位移軸與掃描軸的切換，圖像視窗和分析視窗同界面的設計風格，實現了所見即所得的快速檢測效果。

(2)采用自研的電動鼻輪塔臺，并對軟件防撞設置與硬件傳感器防撞設置功能進行了優化，確保共聚焦顯微鏡在使用高倍物鏡僅不到1mm的工作距離時也能應對。

VT6000共聚焦顯微鏡測量全自動化、精度高、快速測量、處理數據便捷等優點，能對太陽能電池片微觀結構進行三維形貌重建：

1、能夠對電池板絨面這種表面反射率低且形貌復雜的樣品進行三維形貌重建，并由專用分析模塊自動獲取絨面上每個金字塔的體積，比表面積等信息，計算出單位面積金字塔數量和不同尺寸金字塔的比例。

2、對柵線進行快速檢測，軟件具備對視場內的柵線自動測量功能，能夠對掃描獲取的三維輪廓進行多剖面分析，計算出每個剖面的柵線高度及寬度尺寸。

新一代測量技術與光伏產業融合創新，非傳統光學、白光和激光掃描測量設備是越來越多用戶的選擇。