四方光電塵埃粒子計數(shù)器精準監(jiān)測微粒污染，助力顯示面板制程良率提升

  受益于下游電視、電腦、手機等消費類電子產(chǎn)品以及商顯、車載、醫(yī)療等專顯產(chǎn)品需求的推動，近年來中國顯示面板市場規(guī)模整體呈增長態(tài)勢，由2016年的2984億元增長至2023的5694億元，但整體增速逐步趨緩，市場競爭進一步加劇。中大尺寸市場仍由LCD技術(shù)主導(dǎo)，但競爭格局較為固定，需要進一步提升產(chǎn)品良率，降本增效，以提升產(chǎn)品利潤和競爭力。OLED技術(shù)逐漸成熟，占領(lǐng)小尺寸市場，但與LCD相比在工藝成熟度和產(chǎn)品良率上仍有較大的提升空間。綜上，在LCD和OLED面板的制造中，產(chǎn)品良率提升都是下一階段需要迫切解決的問題。

  靜電的產(chǎn)生是因為每一種材料的電子能級不同，兩種不同材料在接觸時會發(fā)生電荷轉(zhuǎn)移。由于靜電的負面效應(yīng)，使得保持高水準的產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)品良率更加困難。平板顯示制程中常見靜電損害主要有ESA（顆粒吸附）污染、ESD（靜電放電）污染和電磁波干擾引起的設(shè)備故障三種。其中ESA污染是因為產(chǎn)品制程中的移動會造成產(chǎn)品表面有靜電場的存在，它的靜電場會把附近的微粒吸引到它的表面，并且其吸力較大，極難在沒有機械力的情形下清除。微粒的靜電吸附，增加了芯片表面的污染，進而降低了良率。

  四方光電研制的在線塵埃粒子計數(shù)器可以實時監(jiān)測潔凈車間中單位體積內(nèi)空氣中不同粒徑的懸浮顆粒物的個數(shù)，并通過3.5寸觸摸屏顯示粒徑信息和警報提示，當微粒超標時可通過內(nèi)置蜂鳴器報警，能有效應(yīng)用于面板生產(chǎn)潔凈車間中，滿足監(jiān)測需求。四方光電在線塵埃粒子計數(shù)器OPC-6303DS/OPC-6510DS/OPC-6511DS采用光學(xué)散射原理，內(nèi)置四方光電的塵源智能識別模塊，具有高效粒子識別率，檢測精度高；內(nèi)置超聲波氣體流量傳感器，實現(xiàn)28.3L恒流采樣，數(shù)據(jù)長期穩(wěn)定性高；低噪音渦輪風(fēng)機采樣，連續(xù)監(jiān)測穩(wěn)定性好，壽命長；滿足IS014644-1:2015、新版GMP、JF1190-2008、GB/T6167-2007標準，廣泛應(yīng)用于百級、千級、萬級、十萬級等潔凈室環(huán)境。