真空泵真空度無法達到預期，通常與設備本身、系統密封、操作環境或負載等因素相關，可從以下幾類原因逐步排查：

一、真空泵自身故障

1. 泵型選型不當
   不同類型真空泵的極限真空度不同（如旋片泵極限真空約 10?2Pa，擴散泵可達 10??Pa），若所選泵的理論極限真空度低于需求值，則無論如何調試都無法達標。例如：用普通旋片泵想達到高真空（<10?3Pa），必然失敗。

2. 核心部件磨損或老化密封件（如 O 型圈、油封）老化、開裂，導致泵內漏氣（如旋片泵的旋片與缸體間隙過大，無法形成有效密封）。葉片、轉子等運動部件磨損，破壞泵內真空腔的密封性，抽氣效率下降。

3. 工作介質問題油式真空泵（如旋片泵）：油量不足（無法填充間隙密封）、油質劣化（混入雜質、水分，粘度下降）、油型號錯誤（如用普通機油替代真空泵專用油，密封效果差）。無油真空泵（如渦旋泵）：泵腔內部污染（灰塵、水汽凝結），影響轉子貼合度。
   
   

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二、真空系統漏氣

系統漏氣是真空度不達標的最常見原因，需重點排查：

1. 管道與連接部件漏氣管道焊接缺陷（針孔、虛焊）、法蘭 / 接頭密封不良（墊片老化、未壓緊、型號不匹配，如橡膠墊片用于高真空場景易漏氣）。閥門故障：真空閥門未打開、閥芯磨損、閥座密封面劃傷，導致氣體從閥門縫隙滲入。

2. 被抽容器漏氣容器本身有裂縫、砂眼，或蓋子 / 接口密封不嚴（如玻璃容器的磨砂口未涂真空脂，金屬容器的焊縫泄漏）。容器內部的部件（如密封圈、觀察窗）老化，導致大氣滲入。

3. 測量儀器誤差
   真空計（如皮拉尼計、電離計）本身校準失效或安裝不當（如傳感器污染、引線密封不良），可能誤判 “真空度不達標”，需用標準真空計交叉驗證。

三、操作與環境因素

1. 進氣口堵塞或負載過大進氣口被異物（灰塵、雜質）堵塞，抽氣通路受阻，泵無法有效抽除系統內氣體。系統內持續產生氣體（如材料放氣：塑料、橡膠等部件在真空下釋放吸附的氣體；化學反應產氣），且產氣量超過泵的抽氣速率，導致真空度停滯。

2. 環境影響環境溫度過高：泵體散熱不良，導致油溫升高、粘度下降，密封性能減弱（尤其油式泵）。環境濕度大：系統內水汽無法被有效排除（如未裝冷凝捕集器），水汽在泵內凝結，破壞真空（水汽會降低油的密封性，或在泵腔形成液封障礙）。

3. 前級泵匹配問題
   對于多級真空系統（如羅茨泵 + 前級旋片泵），若前級泵的真空度未達到主泵的啟動要求（如羅茨泵需前級泵抽到 10Pa 以下才能啟動），主泵無法正常工作，導致系統真空度上不去。

四、排查與解決步驟

1. 先檢查真空泵：確認型號是否匹配需求，更換合格工作介質（如真空泵油），觀察泵運行是否有異響（判斷部件磨損）。

2. 檢測系統漏氣：用 “肥皂水法”（涂抹可疑接口，觀察是否冒泡）或氦質譜檢漏儀定位漏點，更換密封件、修復管道 / 容器。

3. 排除負載與環境問題：清理進氣口，檢查系統內是否有持續產氣源，改善散熱、降低環境濕度。

4. 校準真空計：確認測量值準確性，避免誤判。

通過以上步驟，可逐步定位真空度不達標的原因，針對性解決（如換泵、修漏、換油、清理等）。