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        壓電納米旋轉(zhuǎn)臺用于高精度IMU的出廠標(biāo)定

        來源:哈爾濱芯明天科技有限公司   2025年11月04日 10:30  

        在無人機精準(zhǔn)懸停、自動駕駛汽車平穩(wěn)過彎的背后,有一顆至關(guān)重要的核心處理器- 慣性測量單元(IMU)。它的精度,直接決定了智能設(shè)備感知自身姿態(tài)的準(zhǔn)確度。一顆高精度的IMU,其優(yōu)秀性能離不開生產(chǎn)環(huán)節(jié)中最關(guān)鍵的一道工序:出廠標(biāo)定。當(dāng)IMU標(biāo)定需求邁入微弧度時代,壓電納米旋轉(zhuǎn)臺憑借獨特技術(shù)優(yōu)勢,成為標(biāo)定場景的理想搭檔。

        一、IMU標(biāo)定為何是出廠“必修課”?

        慣性測量單元(Inertial Measurement Unit)是一種用于測量物體運動狀態(tài)的傳感器裝置。IMU通常由加速度計和陀螺儀組成,加速度計用于測量物體在三個正交方向上的線性加速度。陀螺儀則用于測量物體繞三個正交軸的角速度。通過對這些加速度和角速度數(shù)據(jù)的處理,IMU可以解算出物體的姿態(tài)、速度和位置等信息。

        IMU具有更新頻率高、短時間內(nèi)推算精度高的特點,它不依賴外部信號,能夠在室內(nèi)、地下、水下等GPS信號受限的環(huán)境中獨立工作,因此在航空航天、無人機、自動駕駛汽車、機器人、智能穿戴等眾多領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用。

        IMU內(nèi)部集成的加速度計和陀螺儀,分別測量線加速度與角速度,受一些因素影響,在實際輸出數(shù)據(jù)時,都會存在微小的偏差:可能是安裝時帶來的誤差,可能是標(biāo)度因子非線性誤差,也可能是軸間不對準(zhǔn)造成測量方向偏差。而標(biāo)定的本質(zhì),就是通過精準(zhǔn)測試建立誤差模型,將這些系統(tǒng)性誤差進行補償修正,從而確保IMU輸出數(shù)據(jù)更接近真實運動。

        壓電納米旋轉(zhuǎn)臺用于高精度IMU的出廠標(biāo)定

         

        誤差模型示意圖

        加速度計通常依賴重力常量標(biāo)定:重力矢量方向固定,通過將IMU以不同姿態(tài)放置,并采集各個位置狀態(tài)下加速度計的輸出數(shù)值,對比理論值與實測值的偏差,即可推算出加速度計的零偏和標(biāo)度因子等誤差,完成加速度計標(biāo)定。

        動態(tài)標(biāo)定則是在IMU處于運動狀態(tài)下進行的標(biāo)定,常用旋轉(zhuǎn)平臺或擺動臺來進行校準(zhǔn)。IMU動態(tài)標(biāo)定的原理,是明確輸入值,觀測輸出值來進行對比。為IMU提供一個已知、恒定且精確的物理量(如特定角度、角速度),利用穩(wěn)定的常量角速度,結(jié)合轉(zhuǎn)臺提供的角速度輸入,通過改變IMU姿態(tài),分析傳感器輸出差異,推算出所有誤差參數(shù)模型,從而修正動態(tài)測量誤差。

        二、高精度IMU標(biāo)定對設(shè)備提出何種要求?

        IMU出廠標(biāo)定并不是簡單的旋轉(zhuǎn)測試,而是對設(shè)備、流程的系統(tǒng)性考驗,它的核心要求集中在以下幾個方面:

        1.姿態(tài)控制:精度必須匹配上IMU的測量能力

        傳感器精度已向更精密的級別進階,所以標(biāo)定設(shè)備需實現(xiàn)微弧度級的姿態(tài)調(diào)整。傳統(tǒng)轉(zhuǎn)臺易受機械間隙、摩擦影響,難以滿足高端IMU對安裝誤差、標(biāo)度因數(shù)的校準(zhǔn)需求。

        2.動態(tài)響應(yīng):能模擬復(fù)雜運動狀態(tài)

        標(biāo)定不僅要測靜態(tài)誤差,還需通過動態(tài)角速度測試驗證傳感器性能。這要求轉(zhuǎn)臺能快速切換姿態(tài),且運動過程穩(wěn)定無抖動,避免引入額外誤差。

        3.環(huán)境適配:扛住全溫范圍測試

        IMU需在一些極端環(huán)境下穩(wěn)定工作時,標(biāo)定也需同步開展全溫測試。設(shè)備需體積緊湊,且自身不受溫度變化影響。

        壓電納米旋轉(zhuǎn)臺用于高精度IMU的出廠標(biāo)定

         

        三、壓電納米旋轉(zhuǎn)臺如何成為IMU標(biāo)定的理想基座

        壓電納米旋轉(zhuǎn)臺基于壓電陶瓷的逆壓電效應(yīng)驅(qū)動,輸入電壓從而引起材料產(chǎn)生納米級形變。它具有的納米級分辨率、無摩擦以及超快響應(yīng)速度,地滿足了IMU標(biāo)定的需求。

        01極高的角度分辨率

        壓電納米旋轉(zhuǎn)臺能夠產(chǎn)生并穩(wěn)定在極其微小的角度步進(例如微弧度級別),以精確標(biāo)定傳感器的非線性誤差等。

        02超平穩(wěn)的動態(tài)標(biāo)定

        壓電驅(qū)動具有毫秒級的響應(yīng)速度和無磁、無摩擦的優(yōu)勢。這使得旋轉(zhuǎn)臺可以進行極其平滑、無抖動的低速轉(zhuǎn)動和掃描,是測試傳感器的理想輸入源。它能幫助更清晰地分離出IMU的動態(tài)誤差,從而進行針對性補償。

        03實現(xiàn)多自由度精密對準(zhǔn)

        通過將多個壓電產(chǎn)品例如壓電納米旋轉(zhuǎn)臺和壓電納米定位臺組合成多軸系統(tǒng),可以構(gòu)建一個多自由度的精密運動平臺,可快速且精準(zhǔn)地將IMU調(diào)整至標(biāo)定流程所需的任何一個理論姿態(tài)。其極高重復(fù)定位精度,確保了每次標(biāo)定的一致性,從根源上保證了出廠IMU產(chǎn)品性能的均一性與可靠性。

        S54.T2系列壓電偏擺臺

        S54.T2系列是具有中心通孔的二維θxθy軸壓電偏擺臺,采用無摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計,響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高,80×80mm中心通孔使其易于集成在顯微及掃描等光學(xué)系統(tǒng)中。

        壓電納米旋轉(zhuǎn)臺用于高精度IMU的出廠標(biāo)定

        特點

        · θx、θy偏擺運動

        · 開環(huán)/閉環(huán)可供選擇

        · 80×80mm大通孔

        · 分辨率高

        · 外形超薄

        · 適于加速度/角速度傳感器標(biāo)定

        技術(shù)參數(shù)

        型號

        S54.T2S/K

        運動自由度

        θx,θy

        驅(qū)動控制

        3路驅(qū)動,2路傳感/3路驅(qū)動

        標(biāo)稱偏轉(zhuǎn)角度范圍(0~120V)

        ±0.8mrad(≈±165秒)/軸

        Max.偏轉(zhuǎn)角度范圍(0~150V)

        ±1mrad(≈±200秒)/軸

        傳感器類型

        SGS/-

        偏擺分辨率

        0.07µrad/0.002µrad

        閉環(huán)線性度

        0.2%F.S./-

        閉環(huán)重復(fù)定位精度

        0.1%F.S./-

        推/拉力

        40N/8N

        運動方向剛度

        0.5N/µm

        空載諧振頻率

        θx450Hz/θy400Hz

        空載階躍時間

        20ms/3.5ms

        閉環(huán)工作頻率(-3dB)

        110Hz(空載)

        承載能力

        1kg

        靜電容量

        3.6μF/軸

        材質(zhì)

        鋼、鋁

        外形尺寸(長×寬×高)

        125mm×125mm×20mm

        通光孔尺寸(長×寬)

        80mm×80mm,4×R10**

        重量

        510g

        **代表通光孔4個角弧形半徑為10mm。

         

        S21.R3S/K壓電旋轉(zhuǎn)臺

        S21.R3S/K壓電旋轉(zhuǎn)臺是一維θz運動的壓電納米定位臺,它的外形結(jié)構(gòu)緊湊,非常易于集成。

        壓電納米旋轉(zhuǎn)臺用于高精度IMU的出廠標(biāo)定

        特點

        · θz旋轉(zhuǎn)

        · 旋轉(zhuǎn)角度3mrad

        · 閉環(huán)定位精度高

        · 響應(yīng)速度快

        · 體積小巧

        技術(shù)參數(shù)

        型號

        S21.R3S/K

        運動自由度

        θz

        傳感器類型

        SGS/-

        驅(qū)動控制

        1路驅(qū)動,1路傳感/1路驅(qū)動

        標(biāo)稱行程范圍(0~120V)

        2.4mrad

        Max.行程范圍(0~150V)

        3mrad

        分辨率

        0.1μrad/0.003μrad

        閉環(huán)線性度

        0.3%F.S./-

        閉環(huán)重復(fù)定位精度

        0.1%F.S./-

        空載諧振頻率

        700Hz

        帶載0.5kg諧振頻率

        120Hz

        承載能力

        0.5kg

        靜電容量

        5.4μF

        材質(zhì)

        鋼、鋁

        重量(不含線)

        1635g

         

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