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        臺階儀

        臺階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器。根據使用傳感器的不同,接觸式臺階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。其測量原理是:當觸針沿被測表面輕輕滑過時,由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時,還沿峰谷作上下運動。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況。傳感器輸出的電信號經測量電橋后,輸出與觸針偏離平衡位置的位移成正比的調幅信號。經放大與相敏整流后,可將位移信號從調幅信號中解調出來,得到放大了的與觸針位移成正比的緩慢變化信號。再經噪音濾波器、波度濾波器進一步濾去調制頻率與外界干擾信號

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        臺階儀

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        • 膜層厚度臺階高度測量儀

          中圖儀器NS系列膜層厚度臺階高度測量儀亞埃級精度,(LVDC傳感器核心)憑借亞埃級分辨率、多場景適配性與智能化操作,直擊半導體、光伏、MEMS等行業測量痛點,為材料研發、工藝優化、質量管控提供精準數據支撐。
        • 薄膜臺階測量儀

          NS系列薄膜臺階測量儀能夠測量納米到330μm或1050μm的臺階高度,可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。
        • 中圖儀器臺階儀廠家

          中圖儀器臺階儀廠家NS系列通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協同工作,結合亞埃級分辨率(5 Å)與智能化分析軟件,可精準測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數)、膜層厚度及應力分布,為材料研發、工藝優化與質量管控提供可靠數據支持。
        • 中圖儀器臺階測量儀

          中圖儀器臺階測量儀線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13μm量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。
        • 中圖儀器國產臺階高度測量

          中圖儀器國產臺階高度測量儀通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協同工作,結合亞埃級分辨率(5 Å)與智能化分析軟件,可精準測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數)、膜層厚度及應力分布,為材料研發、工藝優化與質量管控提供可靠數據支持。
        • 磁吸式測針臺階儀

          NS系列磁吸式測針臺階儀通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協同工作,結合亞埃級分辨率(5 Å)與智能化分析軟件,可精準測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數)、膜層厚度及應力分布,為材料研發、工藝優化與質量管控提供可靠數據支持。
        • 臺階高微觀形貌參數測量儀

          NS系列臺階高微觀形貌參數測量儀線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13μm量程下可達0.01埃。能夠測量納米到330μm或1050μm的臺階高度,可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。
        • 表面輪廓薄膜厚度臺階測量

          NS系列表面輪廓薄膜厚度臺階測量儀線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13μm量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。
        • 探針式臺階高度測量儀

          NS系列探針式臺階高度測量儀通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協同工作,結合亞埃級分辨率(5 Å)與智能化分析軟件,可精準測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數)、膜層厚度及應力分布,為材料研發、工藝優化與質量管控提供可靠數據支持。
        • 精密臺階儀測試薄膜厚度

          NS系列精密臺階儀測試薄膜厚度通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協同工作,結合亞埃級分辨率(5 Å)與智能化分析軟件,可精準測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數)、膜層厚度及應力分布,為材料研發、工藝優化與質量管控提供可靠數據支持。
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