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        摘要近日,國家標準計劃《X射線-極紫外波段成像儀器檢測定標方法》編制完成并征求意見,時間截止到2023年3月30日。主要起草單位為中國科學院長春光學精密機械與物理研究所等。

          【儀表網 儀表標準】近日,國家標準計劃《X射線-極紫外波段成像儀器檢測定標方法》編制完成并征求意見,時間截止到2023年3月30日。主要起草單位為中國科學院長春光學精密機械與物理研究所等。
         
          本文件規定了軟X射線-極紫外波段(0.lnm~121nm)成像儀器地面檢測定標的一般要求、測試項目、測試原理、測試設備、測試程序以及數據處理的要求。
         
          本文件適用于軟X射線-極紫外波段(0.1nm~121nm)光譜范圍內應用的空間成像儀器(主要應用于太陽、地球空間環境、深空天文目標的成像〉的檢測與定標工作。其他臨近波段(遠紫外、紫外)成像儀器及探測器的檢測定標參照使用。
         
          軟X射線-極紫外成像儀器檢測項目包括視場范圍、像元角分辨率、光學角分辨率、光譜響應特性及有效探測面積。
         
          視場范圍是描述成像系統所能成像空間范圍的指標參數,如果視場范圍滿足不了任務要求,將會導致目標成像不完整。像元角分辨率為焦平面探測器單個像元在物空間對應張角的大小。
         
          軟X射線-極紫外波段成像儀器光學系統一般由反射式光學系統和薄膜濾光片組成,其中薄膜濾光片厚度一般在百納米級別,不影響系統的成像視場范圍等幾何參數。因此軟X射線-極紫外波段成像儀器的成像視場范圍主要由光機結構決定,與波長無關。為了減少視場范圍測試的復雜度和時間周期,軟X射線-極紫外波段成像儀器應在整機安裝前置濾光片前、在大氣環境下使用紫外光測量該項參數。
         
          影響軟X射線-極紫外波段成像儀器的光譜響應特性的光學元件主要有濾光片、反射鏡及面陣探測器等光電元件。在軟X射線-極紫外波段成像儀器整機集成前,通過測量各光學元器件的效率-波長分布曲線并相乘,可以得到系統的光譜響應率-波長分布曲線。利用光譜響應率-波長分布曲線,可以確定工作波長范圍、帶外抑制能力、帶寬等儀器的光譜響應特性參數。
         
          采用軟X射線-極紫外波段單色儀對上述軟X射線-極紫外波段光學元件性能參數進行測量。單色儀的波長覆蓋待測儀器的光譜范圍,光束經過單色儀分光后變成單色光,由高靈敏度探測器測量直射、反射或透射光信號,比對信號可以得到待測元件的反射率和透過率波長分布曲線。同樣使用單色儀出射的單色光對探測器量子效率進行測試:由標準傳遞探測器標定單色光的照度,然后探測器對該單色光成像,比對單色光的照度和探測器圖像灰度,可以得到探測器在該波長的量子效率。將測量成像儀器中所有光學元器件效率-波長曲線相乘,即可得到成像儀器整機的光譜響應曲線,此曲線可表征成像儀器的光譜響應特性。
         
          軟X射線-極紫外波段成像目標一般較為微弱,對該波段成像儀器的探測靈敏度有著極高的要求,因此需要一個參數可以表征,有效面積是表征成像儀器探測靈敏度最直觀的參數。該參數為儀器光譜響應率與入瞳面積的乘積,而不同波長的光譜響應率在上述光譜中已經獲取,因此只需要測量成像儀器的入瞳面積。采用千分尺測量光闌幾何參數并計算面積,根據光闌與入瞳關系,由光闌幾何面積計算入瞳面積。
         
          成像儀器探測器及成像電子學在拍攝圖像過程中會引入各種噪聲,包括偏置電流、讀出噪聲、暗電流噪聲和固定噪聲。暗噪聲定標的目的是標定成像探測器的各種噪聲圖像,包括偏置圖像、讀出噪聲圖像、暗電流圖像和固定噪聲圖像(fixed-pattern noise,FPN)。其中,偏置電流獨立于曝光時間,是疊加在成像電路輸出上的一個直流量;讀出噪聲是一個隨機噪聲,需要多次采集并統計其噪聲特性;暗電流是熱噪聲,大小隨溫度和曝光時間變化;固定噪聲圖像是成像探測器制作工藝導致的固定缺陷。定標時,在真空條件下將探測器溫度降低至工作溫度,探測器拍攝多幅0s曝光時間圖像并求平均,即可得到偏置圖像;將所有采集的0s曝光時間無光圖像減去偏置圖像得到多幅隨機的讀出噪聲圖像;對讀出噪聲圖像相加求平均,得到固定噪聲圖像(FPN圖像)﹔統計這些讀出噪聲圖像中每個像元位置圖像灰度的標準偏差,得到一幅表征探測器各像元讀出噪聲的讀出噪聲統計圖像。
         
          通過拍攝不同曝光時間的暗噪聲圖像,減去偏置圖像和FPN圖像,得到不同曝光時間下的暗電流圖像,可以標定工作溫度下探測器每個像元的暗電流情況。
         

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