《氣體分析 動(dòng)態(tài)法制備校準(zhǔn)用混合氣體 第7部分：熱式質(zhì)量流量控制器》征求意見

　　【儀表網(wǎng) 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)】近日，由西南化工研究設(shè)計(jì)院有限公司 、中國計(jì)量科學(xué)研究院 、中國測(cè)試技術(shù)研究院化學(xué)研究所 、大連大特氣體有限公司 、蘇州市華測(cè)檢測(cè)技術(shù)有限公司 、廣東華特氣體股份有限公司 、江西華特電子化學(xué)品有限公司 、昊華氣體有限公司西南分公司 、陜西液化天然氣投資發(fā)展有限公司 、深圳供電局有限公司 、上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司等單位起草，TC206(全國氣體標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì))歸口的國家標(biāo)準(zhǔn)計(jì)劃《氣體分析 動(dòng)態(tài)法制備校準(zhǔn)用混合氣體 第7部分：熱式質(zhì)量流量控制器》征求意見稿已編制完成，現(xiàn)公開征求意見。
 

　　動(dòng)態(tài)法是制備校準(zhǔn)用混合氣體的一大類重要方法，ISO為此專門編制了ISO 6145系列標(biāo)準(zhǔn)(ISO 6145-3氣流間歇注射法已廢止)。
 

　　GB/T 5275(所有部分)均等同采用ISO 6145系列標(biāo)準(zhǔn)。由于篇幅較長，ISO 6145分為11部分，GB/T 5275與ISO 6145保持一致，也對(duì)應(yīng)地分為11部分。因ISO 6145-3已被廢止，GB/T 5275第3部分也對(duì)應(yīng)地空缺。GB/T5275(所有部分)規(guī)定了動(dòng)態(tài)法制備校準(zhǔn)用混合氣體的通用要求，并具體規(guī)定了熱式質(zhì)量流量控制器法等9種制備校準(zhǔn)用混合氣體方法的原理、主要設(shè)備、制備注意事項(xiàng)、制備得到的校準(zhǔn)用混合氣體組分體積分?jǐn)?shù)計(jì)算及不確定度評(píng)定等技術(shù)要求，以確保制備得到的校準(zhǔn)用混合氣體的質(zhì)量，提高校準(zhǔn)用混合氣體的制備水平。
 

　　本文件按照GB/T 1.1-2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則 第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。
 

　　本文件是GB/T 5275的第7部分。GB/T 5275已經(jīng)發(fā)布了以下部分：
 

　　——氣體分析 動(dòng)態(tài)法制備校準(zhǔn)用混合氣體 第 1 部分：通用要求；
 

　　——氣體分析 動(dòng)態(tài)法制備校準(zhǔn)用混合氣體 第 2 部分：活塞泵；
 

　　——氣體分析 動(dòng)態(tài)法體積法制備校準(zhǔn)用混合氣體 第 4 部分：連續(xù)注射法；
 

　　——氣體分析 動(dòng)態(tài)法體積法制備校準(zhǔn)用混合氣體 第 5 部分：毛細(xì)管校準(zhǔn)器；
 

　　——氣體分析 動(dòng)態(tài)法制備校準(zhǔn)用混合氣體 第 6 部分：臨界流銳孔；
 

　　——氣體分析 動(dòng)態(tài)法體積制備校準(zhǔn)用混合氣體 第 7 部分：熱式質(zhì)量流量控制器；
 

　　——氣體分析 動(dòng)態(tài)法體積制備校準(zhǔn)用混合氣體 第 8 部分：擴(kuò)散法；
 

　　——氣體分析 動(dòng)態(tài)法體積制備校準(zhǔn)用混合氣體 第 9 部分：飽和法；
 

　　——氣體分析 動(dòng)態(tài)法體積制備校準(zhǔn)用混合氣體 10 部分：滲透法；
 

　　——氣體分析 動(dòng)態(tài)法體積制備校準(zhǔn)用混合氣體 11 部分：電化學(xué)發(fā)生法。
 

　　本文件代替 GB/T 5275.7-2014《氣體分析 動(dòng)態(tài)體積法制備校準(zhǔn)用混合氣體 第 7 部分：熱式質(zhì)量流量控制器》，除結(jié)構(gòu)調(diào)整和編輯性改動(dòng)外，主要技術(shù)變化如下：
 

　　——增加了驗(yàn)證混合系統(tǒng)制備的校準(zhǔn)用混合氣組成所依據(jù)的方法(見 8.3)；
 

　　——增加了體積分?jǐn)?shù)計(jì)算的限制條件(見 8.1)；
 

　　——增加了不確定度公式中的偏導(dǎo)數(shù)計(jì)算過程(見附錄 C.2)；
 

　　——更改了上一版本中稀釋比計(jì)算的錯(cuò)誤(見 7.1，2014 年版的 6.1)。
 

　　本文件等同采用ISO 6145-7：2018《氣體分析 動(dòng)態(tài)法制備校準(zhǔn)用混合氣體 第7部分：熱式質(zhì)量流量控制器》。
 

　　本文件做了下列最小限度的編輯性改動(dòng)：
 

　　——刪除了不確定度數(shù)字前的“±”符號(hào)(見 7.1)；
 

　　——更改了附錄 C 中計(jì)算公式中的編輯性錯(cuò)誤(見 C.2)。
 

　　ISO 6145 是一系列涉及用于制備校準(zhǔn)用混合氣體的各種動(dòng)態(tài)方法的文件。本文件描述了使用熱式質(zhì)量流量控制器，利用純氣或混合氣連續(xù)制備校準(zhǔn)用混合氣體的方法。本文件適用于組分不發(fā)生反應(yīng)的混合氣體，即組分不與構(gòu)成熱式質(zhì)量流量控制器或輔助設(shè)備流路的材質(zhì)發(fā)生反應(yīng)。
 

　　使用本文件給出的方法制備的校準(zhǔn)用混合氣體所能達(dá)到的最好水平如下：相對(duì)測(cè)量擴(kuò)展不確定度(由標(biāo)準(zhǔn)不確定度乘以包含因子 k=2 得到)U 不大于2%。
 

　　如使用預(yù)混合氣體代替純氣，能制備摩爾分?jǐn)?shù)低于10-6的混合氣體。質(zhì)量流量的測(cè)量不是絕對(duì)的，流量控制器需要單獨(dú)校準(zhǔn)。
 

　　本文件方法的優(yōu)點(diǎn)是能連續(xù)制備大量的校準(zhǔn)用混合氣體，并且只要使用適當(dāng)數(shù)量的熱式質(zhì)量流量控制器，就能像制備二元混合物氣體一樣方便地制備多組分混合氣體。
 

　　熱式質(zhì)量流量控制器動(dòng)態(tài)法制備校準(zhǔn)混合氣體為混合氣體制備的常用方法。本標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)規(guī)定了此方法的原理、裝置、制備方法及可行性分析、混合氣體體積或物質(zhì)的量分?jǐn)?shù)計(jì)算方法以及相關(guān)不確定度評(píng)定過程，并舉出了多項(xiàng)示例描述了方法的應(yīng)用，對(duì)該方法的規(guī)范使用有著非常重要的意義。在動(dòng)態(tài)制備混合氣體時(shí)，所選擇臨界流銳孔的性能參數(shù)、原料氣體的性質(zhì)和制備條件、以及制備裝置其余各部件的性能狀況都影響著最終制備的混合氣體的量值準(zhǔn)確度。編制相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)辦法，可為使用此方法的工作提供相應(yīng)的指導(dǎo)，并與國際方法接軌。
 

　　校準(zhǔn)用混合氣體作為現(xiàn)代工業(yè)必不可少的消耗型基礎(chǔ)原材料，校準(zhǔn)用混合氣體質(zhì)量的提升和使用效果的保證，勢(shì)必促進(jìn)我國工業(yè)基礎(chǔ)能力的提升，故本項(xiàng)目滿足我國“工業(yè)強(qiáng)基”的要求，對(duì)推動(dòng)我國經(jīng)濟(jì)和社會(huì)的穩(wěn)步發(fā)展有著十分重要的意義。
 

　　更多詳情請(qǐng)見附件。