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        英??瞪漕l傳感技術:為半導體制造保駕護航,助力高效生產!

        時間:2025-3-5閱讀:578
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        英??瞪漕l傳感技術:為半導體制造保駕護航,助力高效生產!

        英福康射頻傳感技術:為半導體制造保駕護航,助力高效生產!


        隨著半導體器件特征尺寸的不斷縮小,等離子體工藝中的電弧放電問題日益突出。微小的電弧不僅可能損壞設備,還會導致產品缺陷,甚至造成生產中斷。如何實時監測等離子體狀態和晶圓蝕刻程度,快速檢測電弧并優化工藝,成為半導體制造中的一大挑戰。


        英??瞪漕l傳感技術提供了強大的解決方案Sion™射頻探測器,提供連續反饋,確保精確的端點檢測,避免過度蝕刻和材料浪費;ADC100電弧檢測器,擁有zhuoyue的電弧檢測技術,在維護生產效率的同時保護設備;協力幫助客戶提升生產效率、減少停機時間,并確保產品質量。




        Sion™:等離子體工藝的“實時衛士"

        Sion™是一款非侵入式射頻探測器,專為高速電弧檢測和工藝終點控制設計。它適用于多種等離子體輔助工藝,如電離物理氣相沉積 (iPVD)、等離子增強化學氣相沉積 (PECVD) 和蝕刻工藝,能夠實時檢測電弧工藝,確保工藝穩定性和產品良率。

        英福康射頻傳感技術:為半導體制造保駕護航,助力高效生產!

        Sion™的核心優勢在于:


        實時電弧檢測:以高達250 kHz的數據采集頻率,快速捕捉微電弧事件,防止對靶材、腔室和基材造成損害。


        非侵入式安裝:采用卡箍式設計,可輕松集成到現有工具箱中。


        智能數據分析:與FabGuard數據管理系統無縫集成,提供全面的數據管理和分析功能,幫助優化工藝參數。



        ADC100:直流電弧的“高速捕手"

        ADC100同樣是一款非侵入式的高速直流電弧檢測設備,通過連接DC供電系統,可實時監測等離子體中的電弧事件,并在出現問題時迅速中斷晶圓生產過程,防止硬件或產品損壞。

        英??瞪漕l傳感技術:為半導體制造保駕護航,助力高效生產!

        ADC100的亮點功能包括:


        高速響應:每個通道的數據采集頻率高達250 kHz,確保對電弧事件的快速檢測和響應;其內配置的預定義分析工具也能確保檢測效率。


        終點檢測功能:不僅能夠檢測電弧,還能優化工藝終點控制,減少過度蝕刻和材料浪費。


        全球技術支持:英??堤峁┤蚍秶募夹g支持,確保ADC100在不同地區的應用中都能發揮最佳性能。


        智能數據分析:與FabGuard數據管理系統無縫集成,提供全面的數據管理和分析功能,幫助優化工藝參數。



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