皮拉尼復合真空計 返回列表頁

INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼復合真空計 BPG400 將 Bayard-Alpert 和皮拉尼兩種真空計的功能融合入單個緊湊型裝置中，測量范圍為 5×10-10 mbar至大氣壓（3.8×10-10 Torr 至大氣壓）。多項技術相結合降低了安裝、設置和集成的復雜性。選擇 BPG400 單一經濟型封裝，在低成本、可重復的過程中進行基礎壓力測量。

好處

從 5 x 10-10 mbar 至大氣氣壓（3.8 x 10-10 Torr 至大氣氣壓）的極其寬泛的測量范圍

在 10-8 ...10-2 mbar 5% 工藝壓力范圍內為表現出優秀的重復性

皮拉尼聯鎖保護 Bayard-Alpert 系統在高壓操作下絲極過早燒毀和過度污染

長使用壽命氧化釔銥絲

備有可選的圖形顯示器和現場總線接口

高真空皮拉尼自動調節，減少操作員的干預

符合 RoHS 標準

低真空至超高真空范圍內的一般真空測量和控制

皮拉尼復合真空計典型應用

對半導體過程和傳輸腔室的壓力測量

工業鍍膜

低真空至超高真空范圍內的一般真空測量和控制