詳細摘要: 微波等離子化學氣相沉積方法可以制備大面積金剛石薄膜,滿足金剛石在*、散熱、光學窗口(紫外、紅外、微波、X射線等)、半導體器件、聲學器件等領域的需求。
產品型號:所在地:上海市更新時間:2018-05-15 在線留言上海續波光電技術有限公司
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主營產品:磁控濺射儀,電子束蒸發鍍膜儀,離子減薄儀,微波等離子化學氣相沉積系統(MPCVD),化學束外延系統,電磁場場分布測試儀,等離子處理,刻蝕機,光學軟件與材料(金剛石),HFCVD,BSDF/BRED測量儀,電磁場仿真軟件
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