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對應300mmWafer的小型立式爐:Largebatch
對應300mmWafer的小型立式爐:MiniBatch
通用量產型立式爐
對應8inchWafe的立式爐:Largebatch
對應300mmWafe的立式爐:Low-costequipmentforbackendusersMinibatch
RD1000H2100mmHeaterLGOheaterFlatzonelength160to250mmWafersizeto8inchBatchsizeto2...
批量生產/實驗室用臥式爐:Fromexperimentalusagetomassproduction
感應加熱式高速升降溫爐
感應加熱式高速升降溫爐
感應加熱式高速升降溫爐:4to8inchwafersizeisavailableLowcostsystembymanualsusceptortransferUp...
Model206A:No
大口徑立式爐:Availableforvacuum/atmosphericpressureprocessAvailableforvariousgasesSubs...
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