單片IR式凈化燒成爐：CleanstructurewithnodustcausedbyitselfFar-infraredradiation(IR)heatin...

分批式凈化系統：Theoriginalsealedstructurehasenabledtheatmosphericprocess

多片一體式連續凈化爐：Thewalkingbeamsystemwithhighcleanperformancehasbeenadopted

滾筒式連續爐：Thetransferrollerofspecialceramicsandtheoriginaldrivingsystemavoidgenerat...

對應300mmWafer的小型立式爐:Largebatch

對應300mmWafer的小型立式爐:MiniBatch

通用量產型立式爐

對應8inchWafe的立式爐:Largebatch

對應300mmWafe的立式爐:Low-costequipmentforbackendusersMinibatch

RD1000H2100mmHeaterLGOheaterFlatzonelength160to250mmWafersizeto8inchBatchsizeto2...

批量生產/實驗室用臥式爐：Fromexperimentalusagetomassproduction

感應加熱式高速升降溫爐

感應加熱式高速升降溫爐

感應加熱式高速升降溫爐：4to8inchwafersizeisavailableLowcostsystembymanualsusceptortransferUp...

Model206A：No

大口徑立式爐：Availableforvacuum/atmosphericpressureprocessAvailableforvariousgasesSubs...

連續滲碳淬火爐

網帶式連續燒結爐

真空淬火爐:ガス冷卻と油冷の組合せが可能多彩な冷卻方向(1方向?上下?全周)対流加熱による急速昇溫長壽命グラファイトロッドヒータを採用均一な溫度精度を確保(5℃...

吸熱型爐氣發生裝置:熱処理プロセスに欠かせない吸熱型爐気発生裝置獨自の省エネ斷熱材一體型モルダサームヒータ採用低ランニングコスト、CO2排出量の削減に貢獻メタノ...