技術應用鏈接:
技術數據：
·外殼約寬 560 mm x 高 1640 mm x 深 620 mm
·腔室容積：約 35 升
·供電電源：230 V / 16 A
·氣體供給：3 個質量流量控制器 (MFC)
·真空腔室： 硼硅玻璃材質的玻璃罩 ∅ 315 mm x 高 500 mm
·濺射源： 1 個濺射源 2" - 3" + 擋板（針對反應性過程，可選配排煙管和進氣口）
·基材支架： ∅ 140 mm（可選擇旋轉型、基材加熱裝置、基材冷卻裝置）， 可切換為等離子預處理的電極（清洗、活化、蝕刻）
·控制系統(tǒng)：PC-控制系統(tǒng) (Microsoft Windows XPe)
·壓力測量裝置： Pirani
·真空泵： 不同規(guī)格，來自不同制造商（根據需要配備活性炭過濾器）
其他選項：
·備件套件、壓力計、腐蝕性氣體設計結構、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、法拉第籠、等離子體聚合配件、測試墨水、氧氣發(fā)生器、慢速通風裝置、慢速抽吸裝置、TEM 樣品架法蘭、維護/服務、當地語言的文件、現場安裝，包括培訓。
其它選項功能
·發(fā)生器頻率： 40 kHz：功率 0 - 500 W
·3.56 MHz：功率 0 - 300 W
·直流偏置電源或單極性脈沖
·功率為 300 W 電壓為 600 V DC
·發(fā)生器為 0 - 99% 無級可調型
未找到相應參數組，請于后臺屬性模板中添加
