技術應用鏈接:
特點：
· 便捷的觸摸屏操作界面
· 數字及圖標多重工藝參數實時顯示方式
· 異常報警功能
· 自動/手動操作模式可切換
· 儲存多套工藝程序
· 遠程操控，數據導出
· 模塊多樣化選擇，處理量大
技術規格：
| 型號 | Tetra 45 | ||
| 控制系統 | 控制方式 | 全自動控制（自動/手動切換） | |
| BASIC PC | FULL PC | ||
| 操作系統 | Windows CE | Windows 10 | |
| 觸摸屏 | 3.5/7” | 15” | |
| 工藝氣體 | O2 Ar N2 Air SF6 CF4等 | ||
| 工藝氣路 | 1-3（可選） | 1-10（可選） | |
| 流量計 | MFC /防腐型MFC | ||
| 真空 腔體 | 材質 | 不銹鋼/鋁合金 | |
| 尺寸WDH（mm) | 572x650(1500) *1x120 | ||
| 容積(L) | 45~100L | ||
| 電極 | 材質 | 鋁/不銹鋼電極 | |
| 層數 | 1層 | ||
| 發生器
| 40kHz 0-1500W 80kHz 0-1000W 0-3000W 13.56MHz 0-300W/0-600W/0-1000W 2.45GHz 0-1200W | ||
| 真空壓力計（mba) | 皮拉尼傳感器（0-9.99) | ||
| 托盤 | 不銹鋼/鋁 | 實心板/鏤空板 | |
| 層數 | 1-2（可選） | ||
| 外形尺寸WDH（mm) | 600x850（1600）x1700(2100) | ||
| 電源 | AC400 V / 16 A | ||
| 真空泵抽氣速度 | 根據工藝選擇 | ||
| 選配件 | 單體導入模塊（親疏水涂層）、遠程控制系統、防腐系統、氣浴、托盤/腔體冷卻系統、加熱模塊、石英舟、干泵 | ||
未找到相應參數組，請于后臺屬性模板中添加
